二手 SEMILAB WT-2000PV #293770860 待售
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ID: 293770860
晶圆大小: 12"
优质的: 2008
Measurement system, 12"
Type: µPCD
Manual indexer Wafer handler
Cassette indexer: 100-200 mm
(13) Slot cassette indexer with open cassette: 300 mm
(25) Slot cassette indexer with FOUP, FOSB and open cassette: 300 mm
No PC
2008 vintage.
SEMILAB WT-2000PV是一种通常用于半导体制造的掩模和晶圆检测设备。其主要目的是检测半导体制造过程所使用的掩模中的缺陷,例如在将光掩模暴露于模具中。SEMILAB WT 2000 PV可以检测光掩模中的弱缺陷,以及晶圆上可能存在的污染物。WT-2000PV配备了先进的成像系统,它具有几个独特的功能,以确保准确检测可能的缺陷。首先,它能够以极高的速度生成高分辨率图像,线路速率高达100kHz,像素大小小至10 nm。此外,它还利用内置的图像处理单元来提供更好的图像质量。它还可以检测到尺寸小于0.1µm的污染物,这是标准SEM根本无法实现的壮举。为了做到这一点,机器利用专有算法来处理由成像工具产生的原始数据。它能够为用户提供实时反馈,以确保识别出所有关键缺陷。WT 2000 PV也由先进的减振资产组成,保证了模型产生的图像的精度和准确性。它设计用于在各种不同的环境条件下运行,并具有用于精确和可重复测量的样品室真空能力。该设备还能够控制光掩模的曝光时间,可以对其进行校准,以确保曝光时间准确、可靠和精确。此外,它还具有方便用户的控制和自动化的软件程序,以方便操作并确保可重复性。总体而言,SEMILAB WT-2000PV是一个非常强大和可靠的掩模和晶圆检测系统。其先进的成像和处理能力、高分辨率成像和减振装置确保它能够提供准确和精确的测量,而其用户友好的控制和自动化程序使它易于使用并取得一致的结果。
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