二手 SONY IRG-12 #293665056 待售

SONY IRG-12是一种用于生产集成电路的掩模和晶圆检测设备。它旨在对用于生产集成电路的高分辨率图样掩模和晶片进行自动化、准确和详细的检查。该系统结合了高放大扫描电子显微镜（SEM）、光学缺陷检测（ODI）、自动缺陷分类（ADC）和亚微米分辨率成像等多项先进技术。IRG-12单元使用具有高放大倍率电子光学扫描透镜的扫描电子显微镜（SEM）来获取高达1,000倍放大倍率的掩模和晶片图像。该机采用了二次电子成像（SEI）、二次电子发射显微镜（SEEM）、X射线成像和扫描隧道显微镜（STM）等多种成像模式，以实现更大的分辨率和检测表面缺陷。除了SEM成像，SONY IRG-12工具还包括光学缺陷检测（ODI），用于检测蒙版和晶片的缺陷位置和尺寸。该资产采用先进的算法和自动图像处理技术来检测细线图样中的缺陷,并检测细微级以下缺陷的精确形状和角度。为了进一步提高检测的准确性和速度，IRG-12模型包括自动缺陷分类（ADC）来识别和分类缺陷。该设备采用基于深度学习的缺陷分类器，能够区分各种物理缺陷类型，提供分区检查的详细度量结果。SONY IRG-12系统还包括用于口罩和晶片的高分辨率验证的亚微米分辨率成像。它的高分辨率电子探测器能够以先进的细节水平对微妙的表面结构进行成像。该单元还提供精确的图像处理和模式匹配工具，以准确识别大面积的细微图桉。为了保证检测结果的一致性和准确性，IRG-12台机器配备了先进的质量控制工具。该工具自动执行温带监控，以保证稳定的成像条件，并提供定期的预防性维护操作，免维护操作。总之，SONY IRG-12是集成电路生产的先进检测资产。它的高级功能和自动化系统为超高分辨率的掩模和晶片提供了可靠和准确的结果。