二手 SVG / PERKIN ELMER / BSL 661HT #9148931 待售

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SVG / PERKIN ELMER / BSL 661HT
已售出
ID: 9148931
Aligner.
SVG/PERKIN ELMER/BSL 661HT是一种面向半导体工业的掩模和晶圆检测设备。它旨在为整个光掩模/晶圆制造过程提供最高精度和速度的高级自动化检查功能。它采用模块化设计,具有集成定制功能以满足客户个人需求的灵活性和潜力。该系统采用最新的行业标准和先进的视线引导检查技术。这使操作员能够精确地检查掩码和晶片到5微米的列像素大小。其显微镜和3D成像可提供高分辨率的结果,并具有自动化、高吞吐量的精度和速度。SVG 661HT的功能包括掩模检查、晶圆检查、光晕检查和缺陷计数。该单元还提供先进的模式识别和测量功能,如隔离模式识别、镜头校正、可疑模式的自动识别、可追踪性和多部分对准。其强大的图像处理能力允许检测缺陷和污染物,计数缺陷和芯片,以及布局验证。机器还可以有选择地与各种面罩检查系统集成,以补充或扩展系统的能力。在处理时间方面,BSL 661HT工具的传输时间为200纳秒,用于缩短检测周期,并行处理时间比其他竞争对手快400倍,以实现更快的扫描。该资产还能够进行高速掩码生产和探测,并提高吞吐量性能,从而缩短周期。最后,该模型具有用户友好的环境和直观的控制软件,因此没有经验的掩码/晶圆检测人员可以轻松运行和管理设备。此外,还提供了一套用户友好的工具、模块和测试模式库,涵盖各种功能类型(行、通、垫等),以便用户方便地量身定制自己应用的具体需求。
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