二手 TAYLOR HOBSON TalySurf 120 #9099036 待售

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ID: 9099036
Stylus profiler Traverse unit Motorized column attached to an epoxy granite base Computer interface module Software: Ultra K510-1036-02 (version 6) Inductive gauge unit with interchangeable styli Interface and control modules. Windows-based measurement/analysis software Traverse length 120 mm Straightness of traverse: 1.0 micron over 120 mm range Traverse speeds 1.0 mm / sec and 0.5 mm/sec (+/- 5%) Column traverse 450 mm Stylus range 6 mm range Stylus tip radius 1.5 - 2.5 micron Stylus force over full range 0.7 - 1.0 mN.
TAYLOR HOBSON TalySurf 120是一个全自动的面罩检查和晶圆计量系统。该系统采用双四轴磁头配置,可提供高效、准确和可重复的抗涂层掩模和晶片测量。它效率高,每小时最多可检查40个口罩和晶片。TalySurf 120利用高分辨率的5兆像素(MP)相机进行成像和检查。它不仅能够测量掩模上的特征,而且能够测量晶片上任何具有检验质量的缺陷。相机采用先进的自动对焦技术,以极高的精度和速度捕捉图像。它利用独特的算法来检测、分析和比较曲面特征,如图桉边缘和线宽。此外,TAYLOR HOBSON TalySurf 120具有测量晶片上包括线宽、步长和颗粒密度等特征的能力,这对于测量过程控制偏差很重要。它可以捕获亚微米特征,并以0.05微米的精度进行高精度测量。它还具有加载和执行允许个性化检查过程的用户定义检查配方的能力。TalySurf 120配备了高级报告功能。它包括一个实时图像显示,其中包含对所检查的每个功能的详细描述。它还附有每次检查的详细统计信息,包括图表、图表和不合格区域清单。TAYLOR HOBSON TalySurf 120的软件采用Microsoft Windows XP设计,使用方便。它有基本操作和创建检查配方的方便用户的教程。它还能够生成具有详细结果的自动报告,并且可以将报告导出为其他格式,例如PDF或HTML。TalySurf 120是一个功能强大且高效的系统,具有一系列检查和测量掩模和晶片的功能。其先进的成像功能、先进的软件和报告工具使其成为需要快速、准确的掩码或晶圆检查的企业的理想工具。
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