二手 TAYLOR HOBSON TalySurf CCI 9150 #9168261 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9168261
Non-contact 3D profiler
Vertical resolution: 0.1Å (0.01 nm)
Measurement noise: 0.2Å (0.02 nm)
Data points as standard: >1,000,000
Single measurement mode of operation
RMS Repeatability: 0.03Å (0.003 nm)
Measurement technique:
Coherence correlation Interferometry
Vertical range (Z): 100μm
Vertical resolution: 0.01nm [0.1Å]
Noise floor (Z): 0.02nm [0.2Å] 1
Repeatability surface RMS (Z): 0.003nm [0.03Å]2
Measurement area (X, Y):
0.25mm - 7.0mm (square area)
1024 x 1024 standard measurement points
Optical resolution (X, Y): 0.4 - 0.6μm
Step height repeatability: 0.05nm (25 nm step) / 0.1%
Linearity (Z): 0.03% of measured value
Surface reflectivity: 0.3% - 100%
Measurement time: 5-20 seconds.
TAYLOR HOBSON TALYsurf CCI 9150是一款为半导体行业设计的掩模和晶圆检测设备，利用最新的非接触式光学轮廓测量技术，能够快速准确地测量和分析半导体晶圆。这套系统配备了专利的动态聚焦单元，允许0.5至500 mm的测量范围，非常适合不同尺寸的晶圆。CCI 9150具有1.5nm的低噪声能力和0.05um的高分辨率选项,可让用户获得准确的结果。这台机器还有一个自动化的数据收集，可以一次收集多个晶圆的数据，减少了检查每个晶圆所需的时间。利用先进的成像技术，工具可以分析主晶圆平坦度、步高、屈服度等变量。这有助于提高晶片的精度并提供可靠的可重复测量。Talysuf CCI 9150旨在通过提供有效的晶片测量和分析来降低生产成本。这是通过提供可以与生产团队无线共享或远程访问以供查看的数据来完成的。自动功能比较有助于识别生产后产品之间的任何差异,并通过在缺陷出厂前检测到缺陷来节省宝贵的时间。该资产设计用于其他操作,如手动测量、多层晶圆映射和数据分析。利用先进的软件功能，CCI 9150可以比传统方法更准确、更好的分析晶片。总的来说，TalySurf CCI 9150是生产和分析晶片的理想工具。CCI 9150采用最先进的光学轮廓测量技术，可以对晶片进行可靠、准确的测量和分析。该模型的自动化功能和数据收集功能降低了生产成本,同时提供了一种可靠且可重复的方法来测量和监视晶片。
还没有评论