二手 TAYLOR HOBSON TalySurf S5 #9012788 待售
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ID: 9012788
Roughness measurement system
Specifications:
Traverse length: 4.72 inch
Straightness of Traverse: Contained within 2 parallel lines spaced 0.5 μm over 4.72 inches traverse, and over any 2.36 traverse
Traverse Speed:
Run up distance required: 0.3 mm max
Measurement speed: 1.0 and 0.5 ,,/sec
Reverse speed 5mm/sec max
Set-up speed: 0.5, 1.0, 2.5, 5.0, 10 mm/sec
Traverse end stops: fixed optical switches
Pick up details
Laser interferometric transducer: Helium/neon laser 632.8 nm
Gauge range: 0.039 inches
Gauges resolution 10 nm with 6mm range
Skid force 70-100 mgf
Analysis:
Form removal: None, Datum, LS, line, MZ line, LS Arc
Form Parameters: Slope (LS line, MZ line) Radius (LS Arc)
Motorized Column & Epoxy Granite Base
Carriage traverse speeds: 0.5, 1.0, 2.5, 5.0, 10 mm/sec
Angular rotation of carriage: 15, 25, 40 min/sec
TAYLOR HOBSON TalySurf S5是为超精确的表面计量和检验而设计的掩模和晶圆检测系统。它是一种非接触的、无破坏的技术，可以用来在三个维度上准确量化一个曲面的绝对形式。TalySurf S5具有多种特性，使其适合多种应用。它具有较大的接触表面积,扫描速度高达0.1 µm/s,可快速获取测量数据。其光学器件具有很高的空间分辨率（补丁可以测量到4 µm的尺寸），并且具有很大的可调性，使操作员能够调整焦点、N.A.、照明等。软件还可以针对特定的用户需求进行定制，允许操作员为其特定的应用程序利用独特的算法和数据处理技术。TAYLOR HOBSON TalySurf S5使用干涉测量技术在三个维度上测量表面。其软件提供多种输出格式，如配置文件、剖面图、tiff图像和轮廓。它包括一系列统计曲面参数，包括波浪度和粗糙度，并且可以识别局部和全局曲面模式。TalySurf S5提供了许多优于手动检查技术的优势。它消除了操作人员的影响，减少了测量中出现错误的风险，并提高了可重复性和可重复性。此外,它具有较大的接触面积和快速的扫描速率,比手动技术更有效,并且可以在相对较短的时间内测量大面积区域。总体而言，TAYLOR HOBSON TalySurf S5是表面计量和检验应用的理想选择，需要高精度、出色的重复性和重复性。其较大的接触表面积、可调光学、软件定制、高空间分辨率和快速扫描速率，使其成为表面计量和检验的宝贵工具。
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