二手 TOKYO AIRCRAFT MEASUREMENT MAC-92 #293587749 待售

TOKYO AIRCRAFT MEASUREMENT MAC-92 （T.A.M. MAC-92）是一种掩模和晶圆检验设备，设计用于满足半导体制造所需的严格的光掩模和晶圆临界尺寸（CD）测量和检验要求。T.A.M. TOKYO AIRCRAFT MEASUREATION MAC-92是一种高速、高精度、非接触式扫描显微镜，能够提供到微米级的分辨率。它采用了场发射扫描电子显微镜（FESEM）和激光共聚焦显微镜相结合的亮场成像系统，能够对图样样品进行快速、准确的测量和检查。该单元可以配置几个选项以提高其性能和准确性，包括使用具有可变扫描大小和扫描速度的高灵敏度4通道检测器。探测器还包括一个特殊的高灵敏度函数，确保小尺度模式的精确测量。此外，该机还包括双通道激光干涉仪微位移级，可实现最小位移的高精度级运动。T.A.M. MAC-92提供了针对缺陷微型掩模缺陷或晶圆半导体层的高级模式检查功能。有一个模式检查器选项,它允许定义最多四种自定义缺陷类型。此外，该工具还可以使用光学或电子束成像来分析各种遮罩层的图样。该资产还为各种表面层和超低k层提供了先进的掩码和晶圆故障检测功能。该模型设计方便用户，易于操作。它具有一个带有图形用户界面（GUI）的触摸屏面板,显示所有关键参数和设置,有助于确保高效的操作和维护。设备内置了自动校准过程，以确保系统的准确性。T.A.M. TOKYO AIRCRAFT MEASUREATION MAC-92是高精度掩模和晶圆检测的理想选择。它能够在微米尺度上进行精确、可重复和快速的测量，并提供了确保半导体制造精度和质量的最可靠和可靠的手段。