二手 TOPCON VI-3200 #9410949 待售
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TOPCON VI-3200是一种设计用于半导体工业的高通量掩模和晶圆检测设备。它提供一流的映像和自动缺陷检查性能,有助于确保最佳的过程控制和成本节约。VI-3200使用亮场、暗场和晶圆光谱成像(WSI)来提供一套全面的检查功能。Brightfield成像用于检测大小和基于位置的缺陷,而darkfield成像则检测模式的不规则性和线宽变化。WSI有效地捕捉各种缺陷的确切形状、位置和状况,包括空隙、划痕和污染斑点。该系统提供卓越的图像细节和准确性,以及令人印象深刻的功能组合,包括自动检查设置和参数优化、3D图像分析以及全面的缺陷分析。它的自动检查设置和参数优化功能使该单元能够快速优化手头作业的设置,而其3D图像分析功能提供了对模式和对齐误差的高精度测量。TOPCON VI-3200具有先进的缺陷分析能力,包括模式识别和航空图像定量分析,从而能够识别小尺寸的图像。为确保卓越的图像质量和最大的性能,该机配备了下一代光学工具以及高性能的图像处理器。该资产专为快速、轻松的设置和操作而设计,非常适合繁忙的生产环境。它还具有广泛的集成质量和缺陷测量功能,包括2D/3D光学临界尺寸测量,可用于分析和测量大型复杂的掩模模式。VI-3200是一种功能强大、功能强大的掩模和晶片检查模型,它结合了卓越的图像质量和准确性以及令人印象深刻的一系列功能。通过帮助确保最佳的工艺控制和成本节约,它是半导体制造环境的绝佳选择。
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