二手 TOPCON WM 2500 #9239634 待售

TOPCON WM 2500
製造商
TOPCON
模型
WM 2500
ID: 9239634
晶圆大小: 6"
优质的: 2001
Wafer particle inspection system, 6" 2001 vintage.
TOPCON WM 2500是一种用于半导体晶片执行2D和3D计量和缺陷检测的掩模和晶片检测设备。该系统是一个全自动、超精密的检测单元,能够实现高精度和快速吞吐量,并具有广泛的缺陷检测能力。该机结合了高品质的电动XYZ级、先进的High-NA光学器件和自动晶圆映射功能,以防止晶圆运动的任何错误注册。检查工具能够检测各种缺陷,如结核、凹坑、空隙、划痕、拉回和其他非理想特征,如晶圆表面的切口或颗粒。WM 2500配备了一个5百万像素摄像头,可实现高分辨率深度成像,最大分辨率为2.5微米。多亏了电动Z轴,从4"到8"的各种晶圆尺寸可以很容易地容纳。它允许检查不同厚度的晶片。这在检查需要额外放大以检查各种缺陷的较大晶片时特别有用。自动映射功能与资产软件相结合,可确保在每次曝光时准确定位晶圆的位置和移动。该模型由强大的软件支持,该软件可自动检查整个晶片表面,从而能够快速检测任何正面或背面的非理想特征。该软件对用户友好,允许对自动化过程进行无限控制,使设备非常通用和高效。该系统可以轻松地集成到洁净室环境中,并具有完全的电源和自动定心功能。此外,该单元可以与任何标准的笔记本电脑一起操作,并拥有全面的内置数据记录机。TOPCON WM 2500为晶圆检测需求提供了可靠、精确的解决方桉。这种自动化工具可确保快速准确地检测半导体晶片上的任何非理想特性,使其成为任何制造环境的理想选择。
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