二手 TOPCON WM 2500 #9266612 待售

TOPCON WM 2500是一种用于精确检测和测量半导体晶片和掩体缺陷的掩模和晶片检测设备。该系统能够检查各种晶圆尺寸（最大8英寸/200毫米）,并测量低至0.33微米的缺陷。该光学元件采用4倍远心镜头，可在90毫米宽的视场内放大率变化。照明装置使用LED光源，提供均匀、均匀的模式，功耗低，不会损坏晶片。WM 2500结合了彩色CCD图像传感器和先进的数字图像处理算法来检测和测量缺陷。该机采用具有缺陷检测模式（DDM）和连续缺陷增强模式（CDEM）功能的亮场成像模式。DDM使用模式匹配和对比度增强来检测各种类型的缺陷，如缺陷、颗粒、划痕、针孔以及缺失或错位的口罩。它可以检测到图样区域内高达0.33微米大小的缺陷。CDEM扫描整个晶圆,用于检测产生点缺陷或缺陷太小,无法通过光场成像进行可视化。图像处理器还支持晶圆网格检查和标记检查。TOPCON WM 2500具有Novastar HPI高速模式检查工具,用于分析各种形状和特征大小。这包括临界尺寸、倾斜度和结构的放置,尺寸小于0.1微米。资产还包括自动聚焦和自动定心功能。这种实时优化允许精确的检查和测量，即使晶片从原来的位置移开。此外,该模型还包括完整的数据存储和报告功能。可以存储已检查晶片的图像以及以.csv和其他格式生成的报告。该设备能够通过各种接口进行通信，包括以太网、USB和串行端口，从而允许远程数据访问和与外部计算机控制系统集成的能力。此外,WM 2500符合SEMI标准。总而言之，TOPCON WM 2500是一种可靠、用户友好的掩模晶片检测装置，设计用于快速准确的缺陷检测和测量。其远心光学、先进的图像处理算法、Novastar HPI检测机以及广泛的数据存储和报告能力使其成为半导体制造和测试应用的理想选择。