二手 TORAY Inspectra-1000EX-F #9353810 待售

TORAY Inspectra-1000EX-F是一种用于检测光掩模、标线、光刻对准目标和晶片缺陷的掩模和晶片检查设备。该系统利用高速扫描和先进算法进行自动化、高精度的光学检查，以检测各种缺陷。该单元配备了用于图像采集的高分辨率CCD相机和用于定位的激光点，以及用于增强检查的明场光源和暗场照明。Inspectra-1000EX-F能够检测各种关键缺陷,如颗粒、针孔、空隙和线条。它还利用先进的算法如高级模式识别算法来识别和分类关键缺陷。该机器包含一个图像分析单元，对缺陷数据进行实时图像分析和统计分析。此外,该工具还能够精确、可重复地测量亚微米特性,如线宽、模具间距和CD值。TORAY Inspectra-1000EX-F还具有缺陷分类功能,可将检测到的所有缺陷分为四类：关键、主要、次要和噪声。缺陷的分类可以基于用户定义的标准,例如缺陷大小、形状或位置。此外，资产允许准确比较测量值和用户指定的阈值，以进一步对缺陷进行分类。该模型有几个选项,包括用于同时检查晶片两侧的自动化程序,以及用于方便设备操作的交互式图形用户界面（GUI）。Inspectra-1000EX-F还包括多种通信协议和一系列信号集成连接器,用于与其他设备接口。最后，该系统还补充了一个易于使用的操作员培训方桉，以便对新用户进行高效的单元操作和培训。总之，TORAY Inspectra-1000EX-F是一种高度先进的掩模和晶圆检测机，能够对各种缺陷进行可靠准确的检测。该工具具有多种功能,如自动双面晶片检查和缺陷分类,可确保它能够准确高效地检查光掩模、标线、光刻目标和晶片。