二手 TORAY Inspectra-1000SX III #9067501 待售

TORAY Inspectra-1000SX III
ID: 9067501
晶圆大小: 6"
Wafer inspection systems.
TORAY Inspectra-1000SX III是一种用于半导体后端制造几代节点的高端掩模和晶圆检测设备。该系统提供了广泛的先进组件,在掩模检查、颗粒检查和晶圆检查方面表现出色。该单元是一个自动化模型,它包含一个全场、高分辨率的成像机,用于检查掩模和晶片。它利用光学显微镜,能够检测从地下和表面粒子到包含分层、裂纹、污染物和宏观缺陷的各种缺陷。为了增强图像,Inspectra-1000SX III有一个"缺陷增强过滤器",它可以过滤和放大表面颗粒,以便于缺陷检测和自动分类。该工具还利用了强大的梯度照明,在图像采集过程中有效地消除了人工背景并增强了缺陷。它还利用高级自动对焦功能自动找到最佳对焦条件以生成最佳图像。在准确性和精确度方面,TORAY Inspectra-1000SX III使用多种创新技术来提供一致和可靠的数据。它的"结构化照明"功能使图像具有很高的分辨率,精度小于0.5微米。此外,该资产还配备了强大的自适应真色传感器,与其他检查方法相比,它提供了更准确的检查。检查模型被设计为极易配置,能够接受几个可选组件,如晶圆触摸探头、自动晶圆处理设备、全彩色监视器和自动缺陷测量系统。这使得该单元非常适合检测高精度图像,并在掩模和晶圆检测应用中取得非凡的效果。总体而言,TORAY Inspectration-1000SX III是一种出色的半导体后端制造工艺检测机器。它以先进的成像和照明技术提供高精度,而且其可配置性为优化检查过程提供了多种选择。这使得该工具成为以极高的精度和精确度检查口罩和晶片的理想选择。
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