二手 TORAY Inspectra-3000 FR 200 #9157738 待售
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TORAY Inspectra-3000 FR 200是一种用于先进半导体制造的掩模和晶圆检测设备。它旨在提供对掩模、晶片和其他基材的详细分析,以便对缺陷和工艺特性进行无损分析。该系统能够检测各种材料上的颗粒、线、面积和厚度缺陷,包括光掩模。它支持各种缺陷类型,包括线距、不良发育模式、颗粒和污染物以及薄膜缺陷。此外,该单元具有检测机械故障、表面缺陷、高分辨率敞开短裤的能力。Inspectra-3000 FR 200具有分辨率为1.2 x 0.9微米的高灵敏度扫描机,视野为0.7 x 0.5mm。它有各种各样的成像选项来满足检查需要。三维图像构图允许用户获取更大深度和空间分辨率的图像。这使得它能够检测非常小的缺陷,并能够识别样品的明暗灰色区域的细微差异。该工具具有自动对准、聚焦和边缘检测功能,可提高准确性并缩短设置时间。该资产还具有简化的软件和硬件体系结构,使其易于使用和维护。该软件还可以方便地加载和分析样本以及数据分析和报告。此外,该模型支持各种成像模式和分析工具,如暗场成像、光学显微镜、扫描电子显微镜、荧光和模式识别。设备配备自动图像采集和分析算法,自动分析晶片或光掩模中的缺陷。这样可以加快流程,使系统更加可靠。总之,TORAY Inspectra-3000 FR 200是有效、准确地检验材料的有力工具.它的自动化功能能够准确分析和检测缺陷和工艺特性,其高分辨率成像功能使用户能够详细了解样品的特性。
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