二手 TORAY Inspectra #9313595 待售

TORAY Inspectra是一种掩模和晶片检查设备，旨在有效测量晶片和掩模上的表面和地下结构。它具有先进的光学系统、激光扫描仪和模式识别算法,可提供对各种特征的精确测量。Inspectra的核心是获得专利的光学、激光和扫描仪（OLS）单元,由高级激光、衍射光栅和光学透镜组成。这台机器设计用来向样品发射一束调制激光，然后与样品中的元素相互作用，产生独特的信号。然后将此信号送入高分辨率CCD摄像机进行进一步分析。TORAY Inspectra的软件组件具有模式识别和图像增强功能。通过使用算法，对样本上的特定特征进行识别和量化。根据应用，这种对图像的诠释可以用来确定特征大小、迭加以及其他与掩码和晶圆完整性相关的重要特征。此外,Inspectra还具有实时测量功能,可实现校准和快速图像捕获。这项创新技术允许在最短的设置时间内快速测量样品的特性。TORAY Inspectra还配备了一个流程监控工具，可以存储数据进行分析。此功能允许深入查看示例随时间推移的行为,以及与以前的事件和图像进行比较。总体而言,Inspectra是一种有效、先进的掩模和晶圆检验资产.凭借其创新的OLS模型、先进的模式识别算法、实时测量能力，可以熟练量化特征大小、迭加等重要特性，确保质量控制要求得到满足。