二手 TROPEL FlatMaster FM200 #9115976 待售

TROPEL FlatMaster FM200是一种先进的掩模和晶圆检测设备,旨在提供各种基板上最具挑战性阵列的精确、高分辨率图像。它结合了先进的光学和成像技术，以1微米分辨率实现了卓越的精度和可重复性。该系统包括一个300 x 300 mm级，以容纳包括4至8英寸晶圆和各种蒙版在内的多种基板。自动15倍物镜精确聚焦在2毫米至200毫米之间,可提供高达80倍的放大倍率。先进的CMOS传感器可提供高达106MP的分辨率,并允许更高的精度和更低的放大倍率。FlatMaster FM200是一个多用途、用户友好的单元，允许所有类型的掩码和晶圆检查。它甚至可以检测到颜色和亮度的单像素缺陷或像素到像素的变化。它具有自动检测多类缺陷的能力，包括颗粒、条纹、划痕、表面纹理、腐蚀、晶体结构、电镀、水分、泄漏和掩模对准误差。它具有定义可调整和校准的误报的能力。该机包括一套保护功能，以确保最佳性能，包括离轴照明、均匀紫外线照明、照明偏振、先进的光学滤光片和先进的热管理。它还配备了确保精确成像的软件功能,如边缘检测、自动对焦、降噪、色彩校正、平面场校正、增强的质量控制和可打印报告。TROPEL FlatMaster FM200还提供了多种用户友好的界面工具，允许操作员自定义设置参数，并为不同的检查保存配置文件。该工具还包括有助于提供连续工作流的功能,例如自动异常报告,以及生成高放大图像以进行详细分析和进一步分类缺陷的能力。该资产还提供了一系列用于自动掩码和晶圆缺陷检测和分析的高级功能。高级算法用于准确识别、分类和量化缺陷。此外,一整套高级分析工具允许从各种图像来源提取和分析数据。活动日志和机器配置文件有助于维护历史记录和高效管理刀具性能。