二手 TROPEL Ultra Sort 150 #9390958 待售
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ID: 9390958
Flatness tester
Grazing: Incidence interferometer
With diameter 150mm
Graphic User Interface (GUI)
High precision robot
With prealigner
Cassette to cassette wafer transport capability
Robot end effector diameter 2" ~ 6"
NIST Traceable calibration
Verification assembly
Universal chuck assembly measures
Flatted, 2" ~ 5"
Notched various materials, 6" ~ 8"
Workstation: High speed
Operating system: Windows XP Professional
High-resolution, 17" LCD Monitor
Ethernet local area network interface
Extended range
Accuracy (XRA)
Typical sensitivities:
Wafers:
Polished 3 µm / fr
Lapped 5.5 µm / fr
Wafer thickness measurement
Repeatability = 0.3 µm (Sigma over 25 Measurement)
Temperature sensitivity of the ultrasort system: ~2 µm/°C.
TROPEL Ultra Sort 150是一款突破性的掩模和晶圆检测设备，正在彻底改变半导体测量的精度。该系统利用先进的扫描和成像技术，快速准确地识别晶片和掩模上复杂形状和结构的缺陷和不规则性。TROPEL ULTRASORT 150可以测量和检查范围广泛的特征，包括单层、线宽和间距、覆盖和配位公差，以及从十分之一纳米到8微米的表面缺陷。该单元提供了卓越的可重复性和可靠性的顶级精度和准确性,因此操作员可以放心,他们的测量和后续结果是正确的。利用其自适应成像技术，Ultra Sort 150可以自动补偿地形、图桉强度或背景环境等因素，以确保进行最准确的测量。这项技术还通过减少人工干预来提高测量速度和准确性。除了先进的成像能力外，ULTRASORT 150还以其令人难以置信的直观操作而引人注目。它提供了更为复杂的系统的功能,但用户控制更为简单。从样本加载到数据捕获和分析，每一步都简单明了。总体而言,TROPEL Ultra Sort 150是一台非常出色的机器,它提供了一种高效可靠的方法来快速检查和测量关键行业应用中的晶片和掩码。其先进的成像工具和直观的操作使其成为各种半导体生产工艺的理想选择,使其成为生产现场的宝贵工具。
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