二手 ULTRAPOINTE 1000 #9026314 待售
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ULTRAPOINTE 1000是一种用于对光掩码、半导体光掩码和半导体晶圆进行高分辨率成像和分析的掩模和晶圆检测设备。该系统能够以高达3.3 µm的分辨率进行晶片检测,具有极好的精度和可重复性。1000利用革命性的掩模和晶片检查技术,在扫描光掩模和晶片时提供无与伦比的性能,具有高精度和重复性。该单元由一个晶片步进器、一个或多个高解析度相机、一个镜头/光学接口以及一台基于计算机的图像分析和采集机组成。晶圆步进器提供了一种机器人机制,具有精确对准、光学元件和相机的能力。安装在步进器上的高分辨率CCD摄像机获取晶片顶部和底部的图像进行分析。晶片步进器由一对抗振空气隔离器稳定,以确保捕获过程在晶片的平坦表面上稳定。ULTRAPOINTE 1000具有高效率的光学元件,由精密制造的组件提供,可提供高达3.3 μ m的分辨率。利用广角光学工具最大限度地提高视野,使多个掩模/晶圆检测点能够同时进行分析。透镜/光学接口直接安装在晶片步进器上,允许精确设置最佳扫描场。基于计算机的图像分析和采集资产提供了强大的软件工具,使图像能够得到快速、准确的分析。先进的3D算法允许缺陷识别和检查晶片的常见缺陷,如划痕、灰尘、颗粒和其他污染物。1000掩模和晶圆检验模型提供了现代半导体制造工艺所需的精度、重复性和高分辨率。其先进的光学和图像分析设备提供无与伦比的性能在光掩模和晶圆检查。利用该系统,半导体制造商能够快速发现问题,从而加快生产速度,降低产品成本,最终改进向市场交付高质量半导体产品的工作。
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