二手 VITRONICS SOLTEC 104873 #9175105 待售

VITRONICS SOLTEC 104873是利用UV-A LED（发光二极管）光源和专有的线路和边缘扫描方法检测IC（集成电路）晶片缺陷的掩模和晶片检测设备。该系统采用多角度、扩散的UV-A LED照明，可从85微米调节到1600微米，以检查直径最大为150毫米（6英寸）的IC晶片。该单元包括一个非接触式激光干涉测量单元，通过将激光线投射到IC上并收集偏转数据，使设备能够测量临界尺寸。这使得104873能够检测IC晶片印刷表面上和下面的缺陷。该机设计用于检查多个掩模级别和特性,包括直径不超过150 mm的IC晶片的光学对准特性。它配备了精确运动和舞台工具技术,它将预先校准的反馈控制与线性电动机和伺服控制技术相结合,以确保降低控制响应范围、提高精度和更好的可重复性。VITRONICS SOLTEC 104873是一种可靠的资产,具有高速度和高质量的性能,能够以高达每小时2,500晶圆的速度检查IC。该模型还包括功能强大且用户友好的EH2 Graphical User Interface,它使用户能够轻松设置设备以进行全面测试,并实现最大限度的操作人工。此外,该系统还具有增强的MicroVision晶片对准（WA）功能,可用于检测、测量和分析小型IC特性。该单元采用先进的算法和光学检测工具进行设计，以确保精度和精确度。104873所使用的高级工具包括SEM（扫描电子显微镜），它可以比目视检查更精确地检测IC上的线宽和图桉。此外,它还使用基于扫描光学显微镜（SOM）的参数,使机器能够以更高的分辨率检查较大的区域。VITRONICS SOLTEC 104873还能够进行背景检查，其中包括使用模式识别算法扫描IC晶片，该算法识别和测量来自先前IC过程的粉尘、污染物和污染物等分子。它还可以测量线路/空间和图像识别特征，使其适合半导体电路制造或检查等应用。此外，该工具还采用板载微粒检测技术，能够检测小于0.5微米的微粒。104873是检查IC晶片的理想资产，因为它利用先进的光学工具来提供精度和精确度。此外，该模型还包括一个非接触式激光干涉测量装置和增强的MicroVision晶圆对准器（WA）功能，可提供准确、可重复和全面的测量。此外，VITRONICS SOLTEC 104873适用于背景检测和小分子检测，是检测IC晶片的理想设备。