二手 WYKO / VEECO RTI 4100 #9174418 待售

WYKO/VEECO RTI 4100是半导体工业中最先进的掩模和晶圆检测设备。该系统利用高功率显微镜分析晶片和掩模的微观特征。利用亮场和暗场显微镜相结合,该单元的图像处理算法能够检测和识别小特征尺寸的缺陷,最小特征尺寸分辨率为0.5 μ m。WYKO RTI 4100的敏感成像系统由四台高解析度相机组成。这些相机用于扫描和分析样品。两台较亮场相机的像素大小为6.7 μ m，而两台暗场相机的像素大小为4.3 μ m。这为机器提供了每个样本所拍摄图像的巨大细节，使工具能够快速检测和识别甚至最小的缺陷。除了四个相机外，VEECO RTI 4100还包含一个True Color Mechanism校正资产，用于分离不同颜色和不同波长的光，以便对样品进行准确的颜色分析。这有助于进一步提高RTI 4100图像处理算法的准确性,该算法能够准确识别样本中的不同缺陷特征。WYKO/VEECO RTI 4100也可以与WYKO自动缺陷检查模型（ADIS）结合使用，以进一步增强其能力。ADIS实现了缺陷的自动检测和分类，可用于质量保证和过程控制。这使设备能够识别和隔离缺陷以获得更详细的信息,并提供详细的报告,说明在生产过程中发现的缺陷以进行改进。WYKO RTI 4100被认为是同类产品中的佼佼者，其准确性和可靠性高，成本效益高。其高度灵敏度允许对样品进行快速检查，吞吐量为每小时20个晶圆工艺。还注意到它能够提供关于所有类型的掩模和晶片的准确结果，并且能够在各种生产环境中使用。总体而言，VEECO RTI 4100是一个强大可靠的掩模和晶圆检测系统，精度和细节无与伦比。它旨在以快速、可靠和经济高效的方式提供高质量的晶圆检验，使其成为半导体行业中必不可少的工具。