二手 WYKO / VEECO RTI #9234521 待售

WYKO/VEECO RTI Mask and Wafer Inspection Equipment是一种综合机制，用于评估硅片、mask和其他半导体基板的完整性。它结合了多种技术，如光学显微镜、电气测试和无损成像，以评估薄膜、新型结构和组件等样品，等等。该系统的光学显微镜能够以极高的分辨率对样品进行观测、成像和分析，小至1.0纳米。它可以读取各种格式如SEM、CCD或TIFF的显微镜图像。显微镜有一个先进的图像处理模块，它使缝合、超分辨率和对比度增强等多种特性能够分析特征和缺陷。WYKO RTI单元提供的电气测试能力决定了基板的电性能。它涵盖了广泛的材料和集成微电路，从基本电阻器到高度复杂的结构。测试程序适合于使接触、非接触（使用电容耦合）或非接触测试，并且可以测量电阻率、电容、阻抗等参数。此外，机器使用无损成像检查样品地形，检测图样、晶粒大小、对准等特征。成像设备的设计采用了更好的对比度模式，允许更广泛的应用。使用X射线、电子束和聚焦离子束技术可以收集精确的细节。高级软件包支持数据处理和分析,允许错误检测和纠正,以及使用自定义设置控制参数。从不同技术中获得的数据可以组合在一起，组合成一个文件，从而可以对基材进行更详细的分析。所获得的数据可以以图像或数据的形式呈现，以便进行进一步的检查和分析。这种易于使用的工具对用户友好,可以帮助提高研究和生产测试的效率,无论是在研究实验室还是在制造中。