二手 ZYGO 6024-0380-01 #293647232 待售

ZYGO 6024-0380-01是用于检查和识别与半导体器件相关的缺陷的掩模和晶圆检测设备。它利用双激光系统创建干涉图样，允许对基板上的单、双、多抗蚀层进行成像。干涉模式有助于检测常见缺陷如空隙、粒子、短裤和其他异常。该单元利用一个可编程级（由高精度步进器或高分辨率精密线性电动机组成）来检查盘片上多达160个晶片。此外，可编程级可以定制用于投影图像的蒙版和晶片。该机采用66位彩色CCD相机，10X至200X放大倍率，700波段光谱仪，使其能够高精度捕捉各种特征。6024-0380-01能够以多种成像模式工作,范围从共焦到广角,再到近场/远场。它利用脉冲宽度调制,以达到更高的扫描速度,而机动化的高度调整可在颠簸、凹陷和升高的曲面上实现优异的性能。保持光学元件可调,无需手动干预,是该工具的一个关键功能。与资产关联的软件配备了图像分析功能、工具箱和掩码生成以及晶圆检查。图像分析工具可以检测形状、粒子和空隙以及短裤和条纹线的变化。该模型可以在20 nm到10 μ m的范围内工作。在可靠性和耐用性方面，ZYGO 6024-0380-01设计为低停机时间，易于校准和维护。它使用可更换的、灰尘密封的过滤器，防止灰尘进入物体平面。此外,6024-0380-01已通过EMI、FCC和CE认证。总之，ZYGO 6024-0380-01掩模和晶片检测设备为纳米级的掩模和晶片检测提供了一种高度通用、可靠的方法，使其成为生产应用的绝佳选择。它具有多种特性和功能,可实现准确高效的检查过程。