二手 ZYGO 7701C/E #9244741 待售

ZYGO 7701C/E是一种掩模和晶片检测设备，为晶片制造和相关工艺提供了全面的解决方桉。该系统支持2D、3D和轮廓测量，能够以纳米分辨率测量晶圆厚度、椭圆度、倾斜度、翘曲度等特性。它还支持背面和边缘检查模式。ZYGO 7701C/E由一个主控制单元组成，该主控制单元连接到用于运动控制的光学单元和用于测量的传感器。机器包括一个照亮晶片的光学投影单元和一个相机工具来捕捉图像。它还具有动态XY舞台和垂直驱动的舞台，为快速精确的物体定位而设计。ZYGO 7701C/E提供了对光学掩模的自动、无损检查,以检测设计和制造阶段的缺陷。测量缺陷面积从0.5µm不等，并提供0.5µm或更高的缺陷检测重复性。它具有高对比度成像功能,具有光学资产,可以检测透明和不透明口罩上的缺陷。ZYGO 7701C/E设计用于晶圆、玻璃板和其他表面的自动检查和大规模测量。它可以测量半导体晶圆、光掩模和显示基板的晶圆直径、平坦度和其他不规则性。它使用自适应光学确保精确的3D测量，并支持各种各样的变形分析算法。该模型还配备了ZYGO业界领先的缺陷检测和校准设备，使用户能够快速扫描和分析全阵列的标线。缺陷检测系统识别线宽变化和着色效果以检测和报告缺陷。集成校准单元通过调整机器的位置、操作参数、校准常数等设置，确保测量精度。ZYGO 7701C/E是一种高级工具,可为工具制造商和生产人员提供全面的缺陷分析解决方桉。凭借其直观的软件界面、坚固可靠的设计以及快速准确的测量，它是对掩模、晶片和其他表面进行光学检查的理想资产。