二手 ZYGO GPI-XP HR #293826355 待售

ZYGO GPI-XP HR是一种创新的下一代掩模和晶圆检验系统，旨在帮助半导体制造商实现最高水平的产量和工艺控制。GPI-XP HR采用业界领先的3D成像技术,使用激光束进行光学计量,从而能够对光掩模和晶片进行详细的角反射成像,其分辨率至少是其他成像系统的10倍。这提供了高分辨率的成像,轴向分辨率高达0.75 μ m,可以精确检查具有挑战性的图样。此外,系统的动态窗口功能使用户能够针对较小的特征或特定的精细结构细节调整图像头的视场。ZYGO GPI-XP HR还集成了ZYGO专有缺陷审查软件,使用户能够快速识别、分类和查看检测到的任何缺陷。这使用户能够在产品生产开始之前快速隔离并解决潜在问题。除了缺陷审查功能外,GPI-XP HR还提供了一套高级的计量功能,包括临界尺寸（CD）测量、CD均匀性（CDU）测量和线缘粗糙度（LER）测量。此高级计量套件允许最高级别的流程控制,使用户能够精确调整所有处理参数以获得最佳结果。此外，ZYGO GPI-XP HR带有直观的人机界面（HMI），带有触摸屏控件和易于理解的菜单。这使得检查过程简单高效，并允许改进过程参数调整。GPI-XP HR是任何希望达到最高工艺控制和产量水平的半导体制造商的理想选择。该系统为光掩码和晶片提供业界领先的成像和计量功能,并结合直观的触摸屏控制和用户友好的缺陷审查软件。无论您是生产逻辑设备、内存芯片还是复杂的IC, ZYGO GPI-XP HR都是实现最低拥有成本的完美解决方桉。