二手 ZYGO GPI XP #293668228 待售
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ID: 293668228
晶圆大小: 6"
Interferometer, 6"
APRE INSTRUMENTS Hardware upgrade
Digital measurement camera
Digital electronics interface
Remote control with optics cleaned and system aligned
Monitor, 24"
PC
Operating system: Windows 10 Pro, 64bit.
ZYGO GPI XP是一种先进的掩模和晶片检测设备,旨在在广泛的晶片和掩模上提供最佳的3D计量性能。利用双探针技术与动态波长校准相结合,在所有晶圆类型上实现亚微米级分辨率,并提供高精度的非接触图像。其自动化计量解决方桉显着降低了晶圆检测的复杂性,导致高吞吐量和低拥有成本。ZYGO GPIXP系统基于先进的光学、电子和力学技术,旨在获取、处理和分析亚微米级别的数百万个数据点。它将两个集成的激光探针与一个自动聚焦单元结合在一起,这样可以在晶圆或掩模的内外表面同时采样。此外,它的高速扫描技术允许快速、非接触式的数据采集,以及在一次扫描中测量多个结构的能力。GPI-XP机器还具有先进的数据处理和计算算法,可以可靠地检测和分析晶圆或掩码内的任何缺陷或不均匀性。它还包括自动掩码对准和对准校正,进一步支持高精度计量。该工具还具有带有分析Dashboard™的直观用户界面,便于数据检索和控制。它还提供全面的文档功能,使客户能够跟踪多次扫描的结果。它还设计为高度可配置,以满足每个客户的特定需求。GPI XP资产除了内置功能外,还附带了先进的计量软件,产生全面的测量报告。软件还包含一套允许自定义的软件工具,可用于优化尺寸和轮廓测量、晶圆清洁度和注册等应用的检查策略。综上所述,ZYGO GPI-XP是一种结合了先进光学、电子和力学技术,提供亚微米精度的先进掩模和晶圆检测模型。它具有2D和3D非接触成像、自动聚焦和对齐以及生成精确报告的全面软件解决方桉。它非常适合需要跨多个晶圆和掩码进行准确、可追踪和可重复测量的应用。
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