二手 ZYGO GPI XP #293757767 待售

ZYGO GPI XP是一款高性能、功能齐全的掩模和晶圆检测设备，旨在满足当今半导体行业的苛刻要求。它提供了全自动检测、缺陷分类和识别、2D缺陷分类和3D缺陷量化等高级功能。该系统能够检测整个晶片中的缺陷,包括蒙版和阴影图像,其范围不超过200 nm。该单元的核心是一个全彩色的可编程显微镜，它提供了更高的光强度，精度和更严格的控制焦点。该光学显微镜配有过程控制和数据分析软件的集成机器。嵌入式软件层通过提供更轻松的用户界面和易于操作来简化工具。ZYGO GPIXP附带了对齐、缺陷检测和分类等多种自动化流程步骤。图像处理算法是为快速准确识别多种缺陷而设计的。高级功能包括检测互连线、3D功能和宏功能。GPI-XP还具有能够将表达缺陷类型分为各自类别的高级分类算法。流程摘要工具提供了多个分析运行之间的快速比较,从而允许在缺陷类型和大小方面进行更大范围的比较。GPI XP除了具有复杂的缺陷检测和分类能力外，还包括用于现场测量、缺陷密度测量和信号验证的模块。它还包括一个自动对焦跟踪功能，以提高测量精度和更高的图像质量。总之，GPIXP是一种先进的模块化掩模和晶片检测资产，它提供了一个全面的特性和复杂的算法集合，以确保高质量的产品的生产。其光学和软件系统旨在最大限度地减少错误缺陷检测，同时最大限度地提高吞吐量和工艺精度。无论是用于掩模还是晶片检验，ZYGO GPI-XP都提供了完成几乎所有检验任务的灵活性和可靠性。