二手 ZYGO Mark GPI-XPS #293617695 待售

ZYGO Mark GPI-XPS是一种掩模和晶片检测设备，旨在提供快速准确的缺陷检测，并提高光刻产量。该系统先进的成像能力使其能够在广泛的波长范围内捕捉高质量的图像，其精密的分析算法甚至可以检测最小的光刻缺陷。标记GPI-XPS具有全场组光学成像模式，允许扩展视场检查。它还提供了多个bin-fault映射工具,使用户能够自定义其检测条件。此外,该单元还具有实时聚焦调整功能,使其能够快速高效地捕获各种图桉和形状的清晰图像。ZYGO Mark GPI-XPS包括一个双站物镜，允许同时成像两个不同的晶片。这种双站成像使得单次移动就更容易检测晶圆两个区域的缺陷。物镜提供高达500倍的图像放大倍率，使用户能够观察到小至1.5nm的缺陷。机器还提供了多种图像分辨率模式，可以捕获2D和3D图像。在3D模式下,该工具收集曲面地形信息,使用户能够深入了解样本的结构和轮廓。它还提供了一系列图像处理和分析工具，包括自动校正、EDSEM/ZZ-SAF、3DTEM/FTAT和其他环路检查工具。总体而言,Mark GPI-XPS是一项非常可靠和可靠的资产,为下一代光刻工艺提供快速准确的缺陷检测。它使用户能够快速高效地直观地验证晶圆和掩模模式,从而帮助提高产量和吞吐量。