二手 ZYGO Mark GPI-XPS #9115906 待售

ZYGO Mark GPI-XPS
製造商
ZYGO
模型
Mark GPI-XPS
ID: 9115906
Interferometer Camera: 1k x 1k.
ZYGO Mark GPI-XPS设备是一种先进的掩模和晶圆检测系统,旨在帮助半导体制造业满足最新的工艺要求。它提供自动对准和高分辨率成像,以精确测量晶圆和掩模上的微小缺陷。它能够对亚微米级设备上的小细节进行精确测量。该单元具有按人体工程学设计的工作区,允许简单的样品准备、对齐和测量。它包括一个用于自动自动对准的双区域单臂操纵器、用于高分辨率成像的高灵敏度CCD相机,以及一个方便用户界面的大型液晶触摸屏。Mark GPI-XPS能够测量缺陷类型,如周期性像差(边缘失准、起伏)、光束倾斜误差、伪纹理图桉、划痕和散射效应。该机器具有高速奇异化能力,用于分析晶片上的单个芯片。ZYGO GPI-XPS工具还提供高放大成像功能,可用于缺陷拓扑分析的缺陷尺寸测量和三维(3D)轮廓。利用发射激光显微镜探测缺陷部位,测量电子束或离子束辐照的模式。ZYGO Mark GPI-XPS资产具有多种高级功能,非常适合半导体行业的应用。它的自锁功能确保所有样本都牢固地固定在适当的位置,而直观的用户界面可帮助操作员快速学习如何操作模型。设备还配备了高速扫描仪,让操作员可以在几秒钟内查看整个晶片。Mark GPI-XPS系统是任何涉及半导体行业的企业的理想投资。它提供准确和一致的测量,并提供易于使用的界面,使其适合任何体验级别的用户。凭借其先进的特点,ZYGO Mark GPI-XPS单元是满足半导体制造业严格要求的可靠高效方式。
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