二手 ZYGO Mark II #76460 待售

ZYGO Mark II是一种用于半导体晶片和掩模检测的掩模和晶片检测设备。它是光学、物理和电气技术的结合。该系统由扫描显微镜、光学激光干涉仪和视觉检查模块组成。扫描显微镜用于检测样品中的表面缺陷。光学激光干涉仪用于测量样品尺寸、表面平坦度、表面曲率等临界参数。视觉检查模块用于检查样品的对准、表面和微观结构。显微镜的光学元件被设计成提供高分辨率的图像。激光干涉仪用于测量垂直和横向位置，以及整个样品表面的高度变化。该单元还有一个数字编码器，用于测量距离、速度、温度和位置。Mark II机器能够检测到广泛的表面缺陷如颗粒物污染物、针孔和空隙，以及更细微的缺陷如表面粗糙度和缺陷大小分布。利用其数字成像软件，该工具可以快速生成大量图像进行分析和比较。资产还可以检测样品电气行为的异常，如电阻增加或短裤的存在。这允许在试样的电气测试过程中检测缺陷。ZYGO Mark II模型还能够测量广泛的机械应力，如表面应变、应力梯度、断裂韧性和可塑性。它可以测量应力浓度，以及样品的应变能。该设备设计为完全自动化并在生产过程中运行。控制界面允许用户对系统的运行进行编程、执行和监控。它可以用来为一个特定的应用程序设置单元，或者在一个系列中运行多个操作。Mark II是一款前沿掩模和晶圆检测机，结合了光学、物理和电气技术，为半导体制造提供了全面的解决方桉。它具有多种多样的特点，能够快速准确地检查各种半导体晶片和掩模，使其成为复杂半导体结构可靠性和质量保证的理想工具。