二手 ZYGO Mark III #76467 待售
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ID: 76467
Interferometer
Zoom 1x - 6x
Remote control for Zoom, Focus, fast switching between Align and View mode
Aperture 4" (102mm)
Including 4" Phase Shifter from Zygo
Including high voltage amplifier from ASTRO ELECTRONIC, built into the MK-III
Line voltage: 120V or 230V
For interferogram analysis: IntelliWave Software from Engineering Synthesis Design, Inc. is recommended (not included)
The original Vidicon camera has been replaced by a modern CCD camera, it's a SONY XC-ST51CE:
Vertical 50 Hz, horizontal 15625 Hz, alternatively a 60Hz camera is possible too
Transmission sphere is not included.
ZYGO Mark III是一种高精度计量工具，在晶圆和掩模检查中提供无与伦比的精度和准确性。它是一种光学、非接触成像设备，用于测量晶圆、掩模、光掩模和其他基板上的微观特征。该系统具有高质量的光学设计、高性能成像单元和先进的软件算法。Mark III基于独特的成像架构，它结合了光学透镜和衍射光学元件（DOE）。这些元件提供了低失真的高分辨率图像，有效消除了传统镜头设计中发现的色差。成像机被设计成捕获各种基材的高度详细的图像。它可以检测很小的粒子，测量表面粗糙度，量化光散射特性。它还具有广泛的检测能力，例如检测包括尘埃、离子、分子和薄膜在内的各种粒子。晶圆和掩码检查软件算法允许用户快速检测缺陷，优化流程，识别肉眼可能看不到的不良特征。ZYGO Mark III采用数字信号处理（DSP）技术,在测量中提供卓越的稳定性和准确性。它有一个实时的128点相位补偿工具和一个先进的噪声抑制（ANR）算法。这两项功能确保测量的精度和准确性,并提供更精确的图像。该资产还提供了许多用户友好的功能,例如自动对焦、自动平整和屏幕校准。Mark III是提供高度精确和精确测量的高级模型。它可用于快速检测缺陷和优化各种检测应用中的过程。凭借其最先进的光学设计、高性能光学成像、先进的软件算法以及精确的测量，ZYGO Mark III是一款极其可靠、精确的晶圆和掩模检测设备。
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