二手 ZYGO Mark IV #9292128 待售

ZYGO Mark IV是一种用于半导体制造工艺的掩模和晶圆检测设备。它是一种自动化的多传感器检测工具,可对各种材料进行全面的缺陷检测。该系统结合了几种先进的成像技术，为用户提供无与伦比的准确性和分辨率。激光干涉显微镜（LIM）用于检测表面缺陷，而一个称为自动模式识别（APR）的高级模块用于检查掩模和晶片是否存在光刻相关缺陷。此外，使用散焦灵敏度成像（Defocus Sensitivity Imaging，DSI）来提供微米下的粒子和小缺陷检测，而使用电荷耦合器件（CCD）相机来捕捉广角、图样特定的缺陷。这个单元还配备了几个用户友好的功能，包括自动缺陷分类和一个详细的缺陷库。该库包含对以前目标的测量，从而能够对类似目标进行快速和高效的检查。为进一步减少缺陷报告过程中的错误并提高准确性，该机结合了几种缺陷过滤算法，可以根据用户的检查要求进行调整。在自动化方面,Mark IV具有自动刀具居中过程（ATC）和缺陷分割刀具（DST）等功能,有助于简化刀具的设置和操作。此外,"自动缺陷映射"（ADM）工具用于创建可在任何地方使用的全面缺陷密度映射。该资产还提供基于Web的报告功能,允许用户从单个屏幕快速、轻松地访问与缺陷相关的数据。除了为用户提供全面的功能阵列外，ZYGO Mark IV还设计用于连续运行，确保最大正常运行时间和效率。该型号还具有模块化设计,允许用户在检查需要更改时轻松且经济高效地升级设备。总之，Mark IV是一个全面的、自动化的掩模和晶圆检查系统，为用户提供无与伦比的检测精度和分辨率。该设备具有先进的成像和缺陷过滤功能,非常适合用于各种制造过程。