二手 ZYGO MicroLUPI #9280679 待售
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ID: 9280679
Interferometer
Worktable
Vibration isolation table
Laser power supply
Motor driver assembly
X/Y stage
Motion controller
Power manager.
ZYGO MicroLUPI-口罩和晶片检测设备是高分辨率口罩和晶片检测技术的突破口。通过直接可视化任何尺寸或类型的掩模或晶片上的微观缺陷，提供了无与伦比的缺陷检测和修复精度。该系统可以检测到尺寸小于1纳米的缺陷，使操作员能够快速准确地识别和定位每一个缺陷。MicroLUPI单元由先进的硬件和软件组件组成，允许对晶圆或掩码进行快速准确的预测试和分析。这包括高级光学、自动模式识别算法和专用软件。软件可以提供掩码或晶圆的虚拟表示，允许用户以3D形式可视化缺陷。这种技术组合使用户能够检测到最小、最具挑战性的缺陷。该机器利用专利图像放大硬件和软件来分析多级掩模或晶片。用户可以将放大倍数调整到15,000倍,以明确识别和定位缺陷。该工具可以在短短几秒钟内捕获多达800张图样区域的图像,以便用户可以快速获取整个掩码或晶圆的详细视图。资产可以同时检测拓扑和尺寸缺陷，使用户能够辨别材料拓扑和厚度的差异。ZYGO MicroLUPI的精密检测算法旨在自动识别和量化每一个缺陷。该过程采用专门的光学、复杂的图像识别软件和强大的模式识别算法，使操作员能够检测和分类独特的缺陷。然后存储此数据以进行进一步分析,或者可用于立即修复缺陷。总体而言，MicroLUPI是一种强大而精确的掩模和晶圆检测模型。它提供超高分辨率来检测和修复最小的缺陷,同时提供对掩模或晶片的彻底分析。这种多功能性使用户能够轻松分析复杂的结构和简单的模式。总之，ZYGO MicroLUPI是检测和修复即使是最困难和最小的缺陷的完美解决方桉。
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