二手 ZYGO NewView 100 #85137 待售

ZYGO NewViewTM ZYGO NewView 100 Mask and Wafer Inspection设备是一种基于光学显微镜的高分辨率成像解决方桉,旨在检查半导体光掩模和晶片的每一个元素。它具有一个大型的5轴电动成像台,具有精确对准和晶圆分级系统,可确保准确性和可重复性。NewView TM ZYGO 100还包括直观的用户界面以及自动检查和缺陷识别软件,确保快速高效的结果。该单元采用45度角视镜，横向分辨率为1.2 μ。它拥有最大的2000X放大倍率，以及利用24位彩色CMOS相机的快速数字成像机。设备的自动图像捕获和分析功能使其能够快速准确地识别光掩模或晶片上的任何缺陷。它还能够在一次曝光中检测出明显的缺陷，并能识别出需要将同一晶圆中的几个图像缝合在一起的复杂缺陷。NewView TM NEWVIEW100具有内置的4百万像素数字光学传感（DOS）工具,用于非接触式光学计量测量。这样就可以对掩模或晶片几何形状进行全面而准确的分析,并可以跨各种视觉和结构特征识别缺陷。它甚至具有0.1 nm分辨率测量层均匀性和记录边缘完整性的能力。这种基于视频的检测资产是为快速缺陷隔离和分析而设计的。该模型可用于缺陷检测、缺陷表征、掩码与掩码的比较以及过程流的自动分析。此外，它还可用于评估光刻性能、线缘粗糙度和制造过程中光掩模和晶片的图样保真度。ZYGO NewView TM NewView 100是一款高性能成像和计量设备,提供卓越的性能和准确的结果。系统的用户友好界面、自动缺陷识别和直观分析功能确保了快速高效的半导体掩模和晶圆检测。