二手 ZYGO NewView 5000 #9008672 待售
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已售出
ID: 9008672
Interference Microscope
Dell PC installed by OEM
Win 7.0 and MetroPro 9.0.10
Includes:
(6) indexed positions of image zoom
Includes (3) objectives
Manual X/Y and tip/tilt stage with motorized Z-axis with turret
Includes vibration isolation table with workstation desk
Profile heights ranging rom >1 nm up to 5000 um at speeds up to 10 um / s with 0.1 nm height resolution, independent of magnifications and feature height
Variable image zoom
5-position manual or motorized turrets capability
Profile areas up to 50 x 50 mm and larger
Image stitching capabilities
Closed-loop prezo-based scanner
Highly-stable metrology
Ultra-rigid support structure
Granite base foundation
Reduced footprint dynamically stabilized vibration isolation table
Fully integrated ergonomic workstation
Gage capability
NIST-traceable standards
Interfaced to Pentium based PC
Password protection on applications
Various standard and optional automation modules
Programmable stages
Standard and custom sample fixturing
Integrated autofocus.
ZYGO NewView 5000是一款功能强大的面罩和晶圆检测设备,可执行一系列检测任务。它可以进行前端分析以制造标线和掩模,并结合了光学、扫描电子显微镜（SEM）和拉曼光谱等各种成像技术,便于进行多层检查。该系统采用创新的光学成像技术，为不透明样品和3D结构提供卓越的分辨率和对比度成像。这允许检测微粒、缺陷和变形，并允许对纳米级以下的材料进行高精度成像。ZYGO 5000通过其最先进的扫描电子显微镜（SEM）提供增强的检查能力。这包括在实时操作中提高高达200纳米的成像分辨率，以及5纳米的卓越成像分辨率。这使得它非常适合检查高分辨率的模式和结构,以及实现缺陷查找和组件评估。该单元还可以进行拉曼光谱（RS）分析材料组成。这种无损技术被用于各种应用，如识别外来材料和污染物，确定沉积过程的均匀性，以及验证层的变化。NewView 5000还提供全面的软件套件,可实现自动模式识别、复杂的图像处理和粒子分析。此直观软件能够检测和测量晶圆、标线和掩码上的物理缺陷,以及不透明材料和3D结构的阵列变化。本机机械设计优越，操作简单，晶片装卸方便，更换样品。它还提供了处理各种形状和大小的厚晶片、标线等基板的灵活性。5000提供了当今市场上最高性能的面罩和晶圆检测能力。它是确保晶圆制造过程中获得最高质量结果以确保设备性能准确的必要工具。
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