二手 ZYGO NewView 5032 #9375626 待售
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ZYGO NewView 5032是一款用于增强半导体工艺控制和屈服管理的掩模和晶圆检测设备。该系统配置有5轴级和高性能光学显微镜,可提供一系列查看和成像功能。该单元具有多种干涉测量和微观成像选项,使用户能够测量各种缺陷,包括质量和轮廓不均匀、表面粗糙度以及尺寸和光学不均匀。它能够测量小到几纳米大小的缺陷,让用户从多个角度全面查看样品。该机还融合了先进的图像处理、掩码编辑、模式识别和统计分析功能,为用户提供了一套全面的缺陷分析工具。NewView 5032的样品级设计接受不同的基板,包括硅片和薄膜,以及溷合基板。该级针对样品X或Y轴的1微米分辨率进行了优化,最大扫描速度为每秒2纳米。5轴运动控制允许在扰动最小的情况下精确定位样品,为用户提供高精度和重复性测量。该工具的光学显微镜配备了多种成像和聚焦透镜,使操作员能够捕捉样品的最佳细节。它提供了广泛的放大倍数,从2倍到50倍,与光谱成像和对比度增强功能一起。显微镜还具有光学图像稳定,提供卓越的图像稳定和最小化收缩的地图。ZYGO NewView 5032集成了一系列第三方系统以增强功能,为用户提供了一套全面的选项来根据其特定需求自定义资产。它可以连接到自动化测试平台,如测试和测量设备、吞吐量控制器和分析系统,以完全集成到现有的生产过程中。此外,该模型还可以连接到各种计算机系统,如PC和智能手机,以便远程访问数据。归根结底,NewView 5032为掩模和晶圆检查提供了一个通用的解决方桉,它将强大的成像、干涉测量和分析工具与5轴级设计的准确性和可重复性相结合。其广泛的成像选项、可定制的功能以及与多个第三方系统的兼容性,使其成为过程控制和产量管理的绝佳选择。
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