二手 ZYGO NewView 7300 #9276460 待售
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ID: 9276460
3D Optical profiling system
Stage, 8"
Mega pixel camera:
Automated 3-position multiple system
With 1.0x Zoom lens
Low noise
Large field
Digital closed loop piezo scanning
Transducer
Capacitive: 150 Micron scan
Illuminator with LED
Accommodates objectives: 1x - 100x
Extended scan, 20 mm
Vertical res: < 0.1 nm
RMS Repeatability: < 0.01 nm
Accessory:
6-Axis Base stage
Motorized Tip / tilt: X / Y / Z and theta included
Travel:
X / Y, 8"
Z, 4"
Rotation: +/- 90 Degree
PR travel: +/- 4 Degree
Options / Accessories:
Part number / Description
6300-0459-01 / Electronics, Power Kit 110/120 VAC (US) Included base system
6300-0650-02 / Manual encoded turret (4-Pos) (NV 600 / 700 / 6000 / 7000)
6300-0526-02 / Accessory: 2.0x Field zoom lens
6300-0522-02 / Accessory: 0.5x Field zoom lens
6300-0593-01 / Objective: 5x Michelson objective
6300-0595-01 / Objective: 20x AF Objective
6300-0597-01 / Objective: 50x Objective, thermally compensated
1840-700-105 / Vibration isolation table, 24 x 24 x 30 (LWH)
6300-2080-01 / Workstation table
6300-3434-01 / Workstation table, 1840-700-105 (NV 5000, 6000 and 7000 Series) / 1840-700-015 (GPI, MESA)
1776-666-012 / Accessory, SiC precision reference flat (30 mm Diameter)
1670-000-020 / Accessory, standard lateral calibration
1776-666-010 / Accessory, standard step height standard 1.75 um.
ZYGO NewView 7300是一款高端的掩模和晶圆检测设备，开发用于为掩模制造商和半导体制造商提供稳健、可靠、经济高效的解决方桉。它是一个完整的晶圆和掩模检查系统，由几个最先进的组件组成。该装置具有先进、精确的光学子系统，用于掩模、硅片和平板的高速成像。光学配置使用四个明亮、脉冲、一毫米波长的LED来扩展灵敏度和宽视野。此外,该机器还使用ZYGO独有的专用光学引擎,以实现最大的晶圆覆盖范围。ZYGO NEW VIEW 7300还提供32位双核处理器,具有512 MB RAM,可实现亚微米分辨率和速度,用于大芯片几何形状的高通量筛选和分析。该工具采用了独特的具有溷合色差还原（C.A.R）技术的真实图像捕获技术,以提高精度和分辨率。所包含的设备和材料参数设置库支持大型多供应商操作,以实现生产产量的最佳性能。资产附带了多种分析工具，包括几种成像分析、统计分析、多维图像切割和光谱收益率分析功能。直观的用户界面提供了强大的自动化功能,允许对关键缺陷进行详细和快速的审查。它还支持缺陷的大模具检测、故障分析以及过程缺陷诊断和修复。NewView 7300还提供了几种用于处理大型晶片的高级功能,并支持多个腔室设置。多层掩模检测模型单通最多可检测10层，而全晶片检测设备单通最多可处理25层，系统利用X、Y、Z棱镜堆栈的专利阵列进行归位和跟踪，以及几何尺寸计量。NEW VIEW 7300还与几个晶圆处理子系统兼容，包括自动晶圆传输和传输、多托架负载端口和样品准备系统。它可以与各种第三方自动化系统集成，允许晶片的传输和跟踪而无需人工干预。最后,该单元设计方便维护,设计紧凑,备件要求最低。总之，ZYGO NewView 7300是一款功能强大的蒙版和晶片检测机，旨在提供最快、最高效的方式来监控蒙版性能、晶片几何形状和特征尺寸。它为高通量筛选和产量分析提供了先进的功能、令人难以置信的准确性和灵活性。
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