二手 ZYGO NewView Maxim GP #156895 待售
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ID: 156895
Interferometer
Nikon Objective 2.5 TI/0.075
Electronic Enclosure
5 Axis Stage Drive
(2) CRT Monitors
PC Unit
Power Supply
Cables
Measurement Technique:
Phase Modulated/Phase Shifting.
Part Viewing:
Real-time Video Monitor
Focus Control:
Coarse Wheel - 22 mm/turn, with tension adjust
Medium Knob - 4.7 mm/turn, with tension adjust
Fine Knob - 0.2 mm/turn
Vertical Travel:
5.1 in. (130 mm)
Objective Mounting
Single dovetail mount,
Camera Size:
Up to 640 x 480 pixels
Electrical:
Incoming Power from Electronic Enclosure
Operating Environment:
Temperature: 15° to 30°C (59° to 86° F)
Rate of Temperature Change: <1.0°C/15 minutes
Humidity: 5 to 95% relative, noncondensing
Vibration: Frequency Isolation - 1Hz < freq < 120Hz
Performance:
Vertical Resolution: 0.1 nm
Maximum Vertical Step Height: 100 turn
Vertical step height: 100 microns.
ZYGO NewView Maxim GP是一款综合性的掩模和晶圆检测设备，旨在满足半导体行业的严格要求。该系统旨在测量高通量环境中掩模或晶片样品的快速变化参数。该单元围绕一台强大的激光干涉仪和一台数字成像机建造，两者均可精确控制和容易校准。激光干涉仪通过测量样品上各点之间的高度差来评估样品的三维微观结构。这样可以在广泛的样本量范围内精确测量临界特性,如线宽和图样保真度。然后，工具的数字成像组件使用颜色编码的迭加来评估其他属性，如能量吸收和光透射率。资产包括各种设置，以优化不同类别的样品的检验过程。其中包括入射角、光束放大倍率和焦点深度的调整。此外,用户还可以调整给定样本所需的强度或相关性程度。ZYGO MAXIM GP包括高级软件工具来分析从每次检查中收集的数据。该软件便于比较不同类型的样本、过程和仪器的结果。它还具有复杂的分析工具,如FFT和迭加,使操作员能够快速识别样本上的缺陷。该模型的设计注重安全性和便利性。防护罩保护操作员免受激光/光束辐射的影响，并定期通过互锁和外部传感器测试设备的安全性。机器的所有组件都易于访问,可以快速卸下以进行维护或更换。此外，系统设计速度快、效率高，平均扫描时间不到一分钟。NewView Maxim GP是一个先进而全面的掩模和晶圆检测单元，在高吞吐量条件下提供卓越的数据精度和稳健的性能。它的高级组件提供了卓越的成像功能,能够快速、精确地测量样品的关键参数。此外,其优化的特性、安全特性和易用性使其成为寻求快速、准确和可靠检测的半导体行业专业人员的理想选择。
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