二手 ZYGO Verifire AT #9222106 待售
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已售出
ID: 9222106
优质的: 2002
Interferometer
OS: Windows 10 64 bit
Measurement capability: Measures surface & transmitted wavefront
Measurement techniques: Vibration tolerant phase shifting interferometry
Alignment system: 2-Spot with reticle with 2° capture range
Test beam diameter: 4" (102 mm)
Optical centerline: 4.25" (108 mm)
Laser source: Un-stabilized 633 nm HeNe, Class IIIa
Camera resolution: 1000 x 1000 Pixels
Shutter speed shortest: 20µs
Digitization: 10 bits
Image resolution: 400 µm Over entire FOV (Optically limited)
Image distortion: Up to 2% over entire focusing range
Focus range: ±2 Meters
Mounting configurations: Horizontal / Vertical
Performance:
RMS Repeatability: <0.5 nm RMS 2 - With NO averaging
RMS Wavefront repeatability: <0.4 nm RMS 2 - With NO averaging
Fringe resolution / Slope: >1.5 Fringes/mm / > 150 fringes across aperture
Retrace error @ maximum fringes: 0.13 Waves
Operating environment:
Temperature: 15° to 30°C (59 to 86F)
∆T/∆t: <1.0 °C/15 min
Humidity: 5 - 95% Relative, non-condensing
Vibration isolation: Isolation system recommended for PSI
2002 vintage.
ZYGO Verifire AT是用于掩模和晶圆检验的先进工具。它提供了透明和反射表面如晶圆、掩模和其他平面样品的高性能分析。Verifire AT是精密工程、前沿光学、先进控制系统交集的产物。它有一个直观的用户界面，可以方便新手和高级操作员操作。ZYGO Verifire AT的核心是光学成像设备和自动检查控制器。其中心光学成像系统采用了获得专利的高压空气承载显微镜，提供直径可达220mm的样品亚微米分辨率。这种显微镜利用两个独立的轴来提供立体成像，这种成像通常比传统的光学显微镜产生更高的精度和更精确的图像。由于立体声成像需要两个独立的图像，Verifire AT利用了获得专利的双易货装置，从而不需要图像缝合。自动检查控制器允许检查过程完全自动化。具体来说,ZYGO Verifire AT提供自动化的步骤和重复、后处理和校准功能。自动步骤和重复操作使用户能够快速准确地捕获样本的一系列图像。后处理特性包括对比度优化和自动缺陷检测，两者都通过使用双易货效应大大简化。最后,Verifire AT提供了几种全自动校准工具,以确保正确缩放、对齐和聚焦图像。ZYGO Verifire AT还为需要测量样品详细特征的人配备了高度精确的微米测量机。这个微米工具直接集成到用户界面中，提供快速的测量和准确的结果。最后,Verifire AT设计为可扩展的。它可以很容易地适应个别使用者的需要。它的模块化设计允许用户只购买和安装所需的组件,从而便于定制和升级。ZYGO Verifire AT是一种通用可靠的掩模和晶圆检测资产。它能够以最小的努力提供精确的成像和彻底的检查。Verifire AT具有易于使用的界面、可扩展性和精确的测量模型,是任何检验实验室的理想工具。
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