二手 ZYGO Verifire MST #293633210 待售

ZYGO Verifire MST是一种主要用于半导体工业的掩模和晶圆检验设备。该系统利用精密光学成像和测量技术提供无与伦比的视觉检查能力。Verifire MST将扫描电子显微镜（SEM）与先进的模式识别算法集成在一起，以快速有效地准确识别蒙版、晶圆等表面上的缺陷。该装置包括一个精确的光学成像机，能够以极高的精度聚焦样品上的图样、纹理和特征。这种成像技术利用多个波长来提供样品的复合图像，用于先进的缺陷检测。ZYGO Verifire MST提供对大量数据的控制和分析,以精确检测各种掩码和晶圆类型上的缺陷。其特点包括用于样品定位和运动的4轴级、自动晶片盒式装载机和卸载机，以及用于对每个样品进行高精度测量的自动校准器。该工具的软件包括各种检查工具,包括用于自动检测样本中缺陷的模式识别模块。软件还提供数据的高级统计分析和对用户界面的完全控制。软件能够生成详细的缺陷汇总报告和其他缺陷分析报告。此外，Verifire MST还为样品的处理和评估提供了多种补充功能，如用于计量和清洁度分析的残留成像、用于确定缺陷概率的缺陷分类工具以及用于识别弱链的掩模故障检测模块。ZYGO Verifire MST能够快速扫描大量数据,在没有人工干预的情况下准确处理缺陷。其优越的光学成像技术能够对掩模和晶圆样品进行快速、准确的分析，而其缺陷分析和统计分析工具则提供详细的报告，以方便高效的制造操作。