二手 ZYGO ZMI 7702 #9363714 待售
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ZYGO ZMI 7702是一种用于精确检查半导体器件缺陷的掩模和晶圆检测设备。该系统基于自动分析仪和随附显微镜,提供卓越的图像质量和检查能力。该装置旨在实现半导体技术晶圆制造工艺缺陷管理和路由方面的卓越成就。ZMI 7702利用定制的自动化分析仪精确聚焦和移动显微镜阶段,确保高分辨率、可重复的图像。该机能够准确高效地测量亚微米特性,包括高密度电路、内存阵列和多层布线。它还允许测量缺陷大小,搜索临界直流特性,以及检测晶体管缺陷。该工具配备了数字图像分析模块(DIAM),利用图像和模式识别功能进行高级缺陷检测。ZYGO ZMI 7702使用最先进的显微镜,使其能够产生从5 X到2000X的放大倍数。这种高分辨率显微镜同时提供明场和暗场照明,以便更好地可视化复杂的半导体图样,包括缺陷。显微镜采用全CCD彩色数码相机,用于高质量的图像和视频。此外,ZMI 7702还使用具有样品校准功能的自动校准资产,以确保样品在定位前准确校准。该模型在检查过程中提供了更高的准确性和可重复性。ZYGO ZMI 7702还提供易于使用的用户界面,方便高效准确的检查。其用户友好的nVision软件旨在简化检查工作流程并提供实时数据。还包括集成的搜索软件,用于快速、方便的缺陷定位。综上所述,ZMI 7702是一款综合性、高性能的Mask&Wafer Inspection设备,具有先进的成像和缺陷检测功能,可用于多种应用。自动化分析仪、显微镜和数字图像分析模块(DIAM)提供卓越的图像质量和准确性,而用户友好的界面和软件则优化了检查过程。
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