二手 NIKON MX-61 #9150938 待售

NIKON MX-61是一种高通量晶圆步进器。它非常适合大规模生产，特别是在需要精确光刻的半导体工业中。MX-61可以可靠地处理多达6英寸的晶片,并且具有出色的图像质量,位置精度为3.2微米。它能够以极高的分辨率进行高端曝光，从0.75微米到0.10微米。吞吐量也通过优化的扫描矢量设计最大化。NIKON MX-61还拥有一个获得专利的F-Theta镜头，在整个扫描领域保持出色的图像质量。这样可以防止不需要的失真,并允许精确的字段校正。它还能精确控制焦点和散光,即使在生产过程中也是如此.在操作方面，MX-61支持精确跟踪晶片的位置和旋转及其电动线性级。这样可以防止不均匀的曝光,并允许精确的层对齐。此外,NIKON MX-61还通过其诊断软件支持远程监控以进行预测性维护。在维护方面，MX-61有防尘外壳，并提供长期使用的高质量空气过滤器。它的空气轴承设计还最大限度地减少了施加的力，并确保了最小的摩擦，允许低功耗。此外，它还有一个CCD成像系统，允许人工检查，总放大倍数可达10倍。总而言之，NIKON MX-61是一种高质量的晶圆步进器，为大规模生产提供精确的光刻技术。凭借其先进的技术和特点，是半导体产业和其他相关产业的理想选择。