二手 VEECO Contour GT-X3 #9248833 待售
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ID: 9248833
晶圆大小: 8"-12"
优质的: 2011
3D Optical microscope, 8"-12"
Manually loaded
X,Y Stage: 12" x 12"
Field of view: 0.5 mm to 2.0 mm
Auto tip tilt stage
(4) Motorized position turrets
Maximum scan range: Up to 10 mm
PC
Operating system: Windows 7
Vertical resolution:
0.05 nm (Motor)
0.01 nm (PZT)
RMS Repeatability:
0.01 nm (Motor)
0.004 nm (PZT)
Lateral resolution:
0.38 μm Minimum (Sparrow criterion)
0.13 μm (With AcuityXR)
0.01 μm (With NanoLens)
Step height accuracy: <0.75%
Step height repeatability: <0.1% 1 Sigma repeatability
Maximum scan speed: 114μm / sec (With standard camera)
Sample reflectivity: 0.05% - 100%
Maximum sample slope
Shiny surfaces: Up to 40°
Rough surfaces: Up to 87°
XY Sample stage: 8" Automated
Encoders: 0.5 μm
Z Focusing, 4" Automated
Tip / Tilt function: ±6° Automated
Computer-controlled tip / Tilt head
Optical metrology module:
Patented dual-LED illumination
Single-objective adapter
Optional automated or manual turret
Objectives:
Parfocal: 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 115x
LWD: 1.5x, 2x, 5x, 10x
TTM: 2x, 5x, 10x, 20x
Bright field: 2.5x, 5x, 10x, 50x
Zoom lenses: 0.55x, 0.75x, 1x, 1.5x, 2x Auto-sensing modules
Camera:
Standard monochrome: 640 x 480
High-resolution monochrome (Option): 1392 x 1040
Color (Option): 640 x 480
XY Automation:
Automated stitching scatter and grid automation
Calibration via traceable step standard
2011 vintage.
VEECO轮廓GT-X3是一种先进的自动化扫描电子显微镜（SEM），旨在为用户提供卓越的成像性能。它利用高压电子能量、多轴、自动采样级扫描以及显微镜元件的细致对准等三个主要成分组成了SEM的技术。其主要应用是研究具有高分辨率成像能力的纳米尺度表面特征。轮廓GT-X3的主要成分是电子光柱、样品级和样品支架。电子光学柱包括聚焦电子光学和枪、柱的玻璃包络和浸没透镜。采样级由3轴自动采样运动组成,X、Y和Z轴的范围为± 20mm。该采样级包括二级和三级电子探测器，这使得样品特征的高分辨率成像成为可能。样品架设计用于容纳各种样品介质，包括晶片、玻璃滑梯和其他材料。除电子光柱和样品级外，VEECO轮廓GT-X3还包括专门的电子束精确对准和自动图像采集控制和采集系统。控制和采集系统通过控制显微镜的样品移动、探测器测量、数据采集、软件功能和遥控，进一步增强了显微镜的成像能力。轮廓GT-X3允许用户访问各种功能,如自动图像配准、高级组织病理学和扫描光学对齐。此外，该仪器可以进行自动化和精确的测量，并具有实时图像处理和分析的可能性。此外，显微镜为样品的高速视频成像提供了一个创新功能，为研究人员提供了全自动成像样品或遥控显微镜在微观和微观中的操作的选项。总之，VEECO轮廓GT-X3是一种先进的自动扫描电子显微镜，旨在为用户提供卓越的成像性能。它包含一系列功能,可实现最终用户的多功能性和灵活性,并提供高级功能,如自动图像配准、高级组织病理学和扫描光学对齐。轮廓GT-X3是任何需要可靠成像系统以获取纳米级高分辨率图像的研究人员或工程师的理想工具。
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