二手 VEECO / DEKTAK Dimension 3100 #9386222 待售
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ID: 9386222
晶圆大小: 6"
Atomic Force Microscope (AFM)
Vacuum wafer chuck, 6"
Stage with enhanced motorized position
Inspectable area: 125x100 mm
Nanoscope 3D controller
Quadrex extender
System computer
(2) Flat panel monitors
Digital instruments keyboard, mouse(Trackball)
TMC Micro-G isolation table
Light tight enclosure
Operations manuals
CE Marked.
VEECO/DEKTAK Dimension 3100是一种多功能扫描电容显微镜,非常适合对表面特性进行详细测量。设备设计包括一个VEECO Dimension 3100主单元、一个带V7软件的数据站和一个电动舞台。它提供30微米的垂直测量范围,能够以高达400微米/秒的速度扫描35毫米大小的区域,大大缩短了数据收集时间。DEKTAK Dimension 3100的大面积扫描功能允许在一次扫描中同时分析多个结构。Dimension 3100配备了一个集成的自动装载机,允许进行多次样品测量,而无需恒定的操作员存在。该系统还包括一个集成的质量控制管理器(QCM),它使用基于扫描数据的预测分析来确保一致和可靠的测量。集成电容测量头也具有很高的可调性,能够测量从0,02到500 nm的14种不同的薄膜厚度校准。VEECO/DEKTAK Dimension 3100能够执行各种表面分析技术,如地形测量、粘合剂/不透明厚度测量、薄膜应力测量和蚀刻剖面分析。该单元还可以测量台阶高度、孔直径、空间和涂层厚度等轮廓,从而无需在一个实验室设置中使用多种仪器。其他功能包括集成的LithoScope软件,用于步长分析以及交互分析和虚拟计量。该机器与3 D Sculptor、Explorer Kit、Image Editor等各种软件应用程序集成。集成的"对齐和跟踪"功能还允许用户绘制圆、线和曲线来测量样本特征。VEECO Dimension 3100是针对各种实验室和表面分析技术优化的高性能扫描电容显微镜。其测量面积大,特点综合,非常适合同时测量和分析多种结构和薄膜,获得准确可靠的结果。
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