二手 VEECO / DEKTAK Dimension X3D #9375522 待售
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VEECO/DEKTAK Dimension X3D是为精密半导体计量学而设计的功能齐全的实验室显微镜。它结合了光学和扫描电子显微镜(SEM)功能、3D成像、高效的低真空和高真空模式以及自动制图。其集成系统允许对整个晶片的结构进行深入分析,以及在线样品制备和检查。这使得它特别适合于确定微米和纳米级结构的问题。该系统采用高精度光学和高速扫描级,以及先进的反射路径检测二次电子或切削刃并获得亚纳米分辨率。这种成像是通过使用消磁光学和低功率物镜进行优化的,这些透镜可以使半导体样品的所有表面都成像或以3D方式进行研究。此外,X3D还包括一种独特的低压视图技术,以便可以将样品查看到3 nm分辨率。对于自动样品映射,X3D使用一种称为光子激发二次电子发射(PSEE)的特殊技术来检测样品的形态。PSEE允许比传统方法(如地形成像)更快地映射样品的地形。此外,还改进了X3D,以减少生成的二次电子的数量,并提供更平滑的图像。该X3D还包括一套全面的软件,可以用来控制显微镜,分析图像,甚至记录和分析数据。该软件可用于显示图像和自动创建测量报告,以及确定样本中是否存在故障和缺陷,以及其他感兴趣的功能。此外,软件还包括用于缺陷大小和形状辨别的工具,以及缺陷分析技术。该X3D可以通过单个工作站进行控制,并且可以与自动系统(如试验机)连接。这使X3D成为快速计量和过程控制应用的理想选择。该X3D是一种功能强大且用途广泛的半导体计量工具,可为用户提供卓越的性能、耐用性和自动化功能。该X3D结合了VEECO和DEKTAK的专业知识和支持,使其成为任何高精度半导体计量应用的理想选择。
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