二手 VEECO / DEKTAK SXM 320 #9248820 待售

VEECO/DEKTAK SXM 320是一款高精度的轮廓显微镜，具有广泛的特点，旨在满足半导体制造商的苛刻要求。它是一个3 D表面计量学系统，专门设计用于测量先进电移、薄膜和集成电路设备的地形。VEECO SXM 320由一个旋转振动样品级组成,距离在0-200微米之间.其先进的光学设备和精确的三维扫描功能可以准确测量平面表面样品和复杂的地形特征。该系统利用高光圈物镜和激光光源进行精确测量。激光聚焦在样品上，反射光由同一物镜收集。这提供了有关样品表面地形的信息。该系统能够以0.001-25 µm的各种分辨率进行扫描,并且可以支持300 mm × 300 mm的样本量。此外,它还可以测量任何三维样本,允许用户在顶部和侧面视图扫描之间进行切换。DEKTAK SXM 320最大采样率为0.8 Hz，可重复性为1.5 µm，最大景深50 µm。SXM 320配备了软件套件,可用于分析和处理获取的数据。颜色映射、横截面分析、平均和平滑等特征可应用到扫描中,以便于分析。此外,该软件还能够将扫描的数据导出为多种格式。总体而言，VEECO/DEKTAK SXM 320是一款先进的剖面仪显微镜，专为满足半导体制造商的苛刻要求而设计。其快速的扫描速度、广泛的扫描分辨率以及能够进行三维测量，使其成为测量先进电移、薄膜和集成电路设备地形的理想工具。