二手 VEECO / DIGITAL INSTRUMENTS DUVx210 #9233961 待售
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VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS DUVx210是一种直接成像2D扫描/操纵曝光工具(DiSSET),是一种对图样底物进行直接成像的强大工具。该设备能够以非常高的图像分辨率直接成像光掩模和标线,适用于现代半导体器件。该系统利用光子辅助激光将图像投射到基板上。高度灵活的阶段可实现高度精确的对准和扫描,从而确保最高分辨率的成像,这对于复杂的缩放设备尤其重要。该单元还允许控制图像投影速度和精度的各种可操纵参数。VEECO DUVx210组件采用2类固态激光二极管进行波长控制。激光二极管提供极窄波长分布、低噪声比的高效发光。该工具带有用于精确波长控制的中频段数字控制资产。模型的阶段支持较大的扫描范围,允许低放大倍率和高分辨率成像。扫描范围包括每秒高达800mm的xy扫描速度和具有10nm可重复性的电机级。DIGITAL INSTRUMENTS DUVx210设备还配备了强大的光束控制系统,为用户提供精确控制投射到基板上的光的大小、形状和强度的能力。该单元包括一个铰接式角度组件,提供对光源的完全三维角度控制。该机包括一个集成的数字控制工具,用于快速、精确地扫描光束。操作员界面使用户可以访问各种成像环境和工具,以精确控制图像投影。DUVx210资产设计用于先进制造行业,可提供最高质量的成像,以及对模型参数的精确控制,以确保获得最佳效果。该设备设计用于从半导体器件到显示器和光学等各种应用。该系统极其可靠且易于使用,内置支持各种软件工具。该单元还被设计为具有高度可扩展性,以满足不同用户和应用程序的需求。该计算机为用户提供了直观的图形用户界面,使他们能够根据自己的需要快速轻松地设置映像过程。
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