二手 CREATEC FISCHER Molecular Beam Epitaxy (MBE) system #293759777 待售

ID: 293759777
Process: GaAs Small load lock chamber Fore vacuum pump (2) Turbo-molecular pumps (Pfeifer vacuum) Vacuum pump station Integrated fore vacuum pump Turbo-molecular pump Power supply and controller (Pfeifer vacuum) (2) Ion-getter pump (Meca 2000, Vinci) (2) Titanium sublimation pumps (5/6) Vacuum valves (VAT Group) (3) Transfer arms (2) Manipulators (2) sample holders (Temperature range 0-950°C) with in-plane sample rotation (2) UHV Chambers Chamber heater (With power supply) for UHV Vacuum (10^-11 mbar) (3) Effusion cells (Ga, As, metal) (2) Electron beam guns Quadrupole mass spectrometer for both e-guns for growth control Quartz crystal monitor for thickness control Power supplies Controllers Manuals.
CREATEC FISCHER分子束外延(MBE)设备是半导体研发领域使用的尖端工具。MBE是将材料薄层沉积到具有原子级控制的基板上的一种高度精确的技术,非常适合为先进的电子和光电器件创建高质量的半导体结构。CREATEC FISCHER MBE系统以其卓越的性能和多功能性而着称,在增长复杂的半导体异质结构中具有无与伦比的精度和均匀性。这一单元的设计满足了研究实验室和半导体器件制造所涉及的制造设施的苛刻要求。MBE机的核心是一个超高真空(UHV)室,配有多个积液池、电子束蒸发器和其他沉积源,用于生长各种元素和复合半导体材料的薄膜。特高压环境可确保无污染的生长过程,这对于实现具有明确晶体结构的高质量外延层至关重要。CREATEC FISCHER MBE工具的一个关键特征是其精密的控制资产,使研究人员能够精确调整生长条件,如基材温度、源材通量率和沉积率。这种控制水平使得具有量身定制性质的复杂多层结构能够外延生长,包括量子井、量子点以及其他具有独特电子和光学特性的纳米结构。而且,MBE模型配备了反射高能电子衍射(RHEED)、俄歇电子光谱(AES)、质谱等原位监测表征工具,允许对生长过程进行实时反馈,保证了被沉积外延层的质量。CREATEC FISCHER MBE设备还提供先进的功能,用于掺杂具有精确浓度杂质的半导体材料,以改变其电性能。通过在外延生长过程中掺入掺杂剂,研究人员可以针对特定的器件应用,如高速晶体管、发光二极管(LED)、光伏电池,量身定制半导体层的载流子浓度和迁移率。此外,MBE系统支持多种沉积技术的集成,如分子束外延、金属有机化学气相沉积(MOCVD)和脉冲激光沉积(PLD),为研究人员提供了一个探索广泛材料组合和设备架构的通用平台。综上所述,CREATEC FISCHER MBE单元代表了一种先进的半导体材料外延生长工具,具有卓越的精度和控制力。其先进的特性,包括特高压腔室设计、原位监测能力和掺杂功能,使其成为致力于开发具有量身定制特性和性能的下一代半导体器件的研究人员和工程师的宝贵资产。
还没有评论