二手 DCA / DIGITAL COMMUNICATION ASSOCIATES P600 #293595316 待售
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ID: 293595316
Molecular Beam Epitaxy (MBE) system
Flexible vacuum tube: LN2 Supply
Cassette loadlock
Pentium 4 1.5 GHz computer
RAM: 256 MB
Hard disk: 20 GB
Floppy disk, 3.5"
CD-ROM Speed: 12-24
SVGA Monitor, 19"
Digital and analog I/O interface cards
Multi RS232 card
Maximum vacuum interlock: 200℃
Beam Flux Monitor (BFM)
Residual Gas Analysis (RGA)
RHEED (30 keV, Staib)
UPS System
Liquid nitrogen
Buffer chamber: < 5 x 10^-10 torr
Load lock: < 2 x 10^-6 torr
Growth chamber: < 1.0 x 10^-9 torr
Materials used: GaAs, GaInAs, AlGaAs epitaxy
(2) Ga
(2) Cold lip Al
In
13 cc Si
Be
V group: 1000 Valved cracker
Pumps:
Cryo pump
(2) Ion pumps (Valcon Plus 300, 500)
(2) Turbo pumps (VARIAN Turbo-V 301, 551)
(2) Dry scroll pumps (VARIAN SH-100, Tri scroll 300).
DCA/DIGITAL COMMUNICATION ASSOCIATES P600是一种分子束外延(MBE)设备。DCA P600是一个计算机控制的、高精度的、高真空系统,旨在制造原子层的薄膜和多层。该室在超高真空条件下运行,能够达到室温到几千度的沉积温度。设备配备了源锁定联锁机,在发生任何危险事件时将关闭该过程。DIGITAL COMMUNICATION ASSOCIATES P600 MBE工具适用于生产高性能的电子和光学材料。它使用电子撞击蒸发源和多种其他源,包括分子束源。该资产能够对诸如砷化氙、氮化氙和磷化铵等材料进行高精度生长。它还配备了高端频率-敏捷辐射源(FAR),用于先进的光学沉积和表征。P600 MBE模型提供了广泛的精度功能,包括生成具有微米级特征的超平滑外延层的能力,以及满足特殊要求的纳米级特征。该设备包括一个经过专业工程设计的环境室,可实现可靠、可重复的工艺结果。作为计算机控制系统,DCA/DIGITAL COMMUNICATION ASSOCIATES P600 MBE单元配备了多种软件工具和接口选项,以进一步增强过程控制。计算机界面可以根据用户的需要量身定制,并提供全面的信息和控制选项,包括实时温度和压力显示。总体而言,DCA P600 MBE机器是一种前沿工具,旨在帮助研究人员和制造商实现其薄膜和纳米结构的最高精度。它具有广泛的优点,包括高精度的薄膜沉积、广泛的沉积温度、用户友好的计算机界面和环境控制。
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