二手 OXFORD VG 80 #9121715 待售
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OXFORD VG 80是用于III-V复合半导体结构生长的高性能分子束外延(MBE)设备。利用先进技术,专门为专门材料的沉积设计,对层厚、掺杂水平、组成和界面进行精确控制。该系统包括两个主要组件:源室和生长室.源室装有MBE级积液电池、离子枪、百叶窗等部件。这些经过优化的超高真空组分提供极其精确的蒸汽通量,以控制沉积在基板上的质量。通过使用几种来源,用户可以实现对定制材料层组成和掺杂的高水平控制。该单元的第二个部件是生长室,由温度范围为300°C-900°C的高温压板和精密的自动基板处理机组成。该工具提供了监测薄膜和微结构原位生长的能力。此外,还提供精确的RHEED资产,使用户能够实时监控胶片的增长。该型号还配备了Load Lock设备,用于样品引入真空室。这确保了平稳高效的样品装卸过程。总之,VG 80是优化的III-V复合半导体结构和材料生长的通用平台。它的组成部分能够精确控制材料属性,从而使用户能够创建适合其确切需求的专用材料。因此,OXFORD VG 80系统是半导体行业研究人员的宝贵工具。
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