二手 RIBER 32 #9260374 待售
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已售出
ID: 9260374
System
GaAS
Includes:
Pumps: Ion and cryo
Vacuum chambers
Sample manipulators
Substrate components
Modutrac transfer systems
Does not include:
Turbo pump
Turbo controller
Power supply
Compressor.
RIBER 32是一种分子束外延(MBE)设备,一种用于生长半导体材料原子层的薄膜沉积技术。该系统非常适合现代半导体生产需求,提供了灵活性、温度控制和广泛的可用化合物。32采用独特的设计,采用两个独立的真空室,由一个运输单元连接。这使得MBE反应堆能够与机器的其余部分分离,减少残留污染,保持清洁的生产环境。该工具还配备了一个特殊的加热资产,支持从室温到1000 °C的基板温度。基板支架的运动由步进电机模型控制,使基板处于均匀沉积的理想位置。这些电动机与演化(EV)流控制器耦合,精确调节腔内的源。这样可以确保稳定的环境和一致的结果,无论配置如何。RIBER 32设备的核心是其高温积液电池,使高质量层的可靠生产成为可能。细胞也能够被精确调谐和修改,使它们能够适应不同的需求。此外,该系统包括一个石英天平和一个板载泄漏阀,这让用户调节室内的大气压力。32个单元可以配置和定制各种源插件、叶片、挡板和屏蔽,它具有模块化设计,包含了广泛的沉积过程。这使得它能够生产出多种材料,包括含有铝、砷、硼、移植物的化合物。总体而言,RIBER 32是一款功能强大且用途广泛的MBE机器。凭借其温度控制、可调节的大气压力、先进的电机控制,以及各种各样的可用化合物和可定制附件,它为各种半导体生产需求提供了无与伦比的多功能性和灵活性。
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