二手 RIBER 32P #9309553 待售

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製造商
RIBER
模型
32P
ID: 9309553
Molecular Beam Epitaxy (MBE) system Source: In, Ga, Al, As Phase separator.
分子束外延(MBE)是一种在底物上合成沉积薄膜的方法。RIBER 32P设备是一种高性能的MBE系统,旨在提供厚度精确、结晶度优良、缺陷低的外延层(薄膜)。该单元由高真空室、积液池、涡轮分子泵、百叶窗、源材料百叶窗、超高真空(UHV)传递室等几个组件组成。高真空室作为基板支架的面积,而积液池则用来蒸发原料。然后通过涡轮分子泵将原料运输并沉积到基板上。一旦沉积完成,可以用快门将基板与腔室隔离。其他百叶窗可用于释放额外的源材料进入高真空室。特高压输送室还提供了一个隔离环境,可靠地将基板送入和送出高真空环境,并且可以被安全密封,以10-9毫巴的分压气体环境保护不断增长的外延层。该机还包括液氮冷却轴上反射高能电子衍射(RHEED)工具、自动化互锁安全资产、光谱能力、用于精确操纵温度的加热和冷却元件、动态压力控制程序、计算机控制和数据采集模型以及手动控制设备等附加组件。RHEED系统由电子枪和检测器组成,实时监测基板结晶度和不断增长的外延层。光谱功能使用户能够研究外延层的各种特性,如吸收和反射率。加热和冷却元件可以精确操纵-40°C至+900°C的温度。动态压力控制单元用于保持高真空室内的压力稳定。计算机控制和数据采集机提供实时工具监控。最后,手动控制资产为用户提供了对模型参数的更大控制。总之,32P分子束外延(MBE)设备是一种先进的多功能系统,可提供精密的外延层薄膜生长,具有优良的结晶度、低缺陷含量和精密厚度。它的附加组件为用户提供了更强的控制和监控能力,使其成为合成和沉积外延层的通用单元。
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